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    2015新型真空气氛烧结炉电气联锁新原理

    1. 真空气氛烧结炉机械泵:水压正常。

    2. 真空气氛烧结炉罗茨泵:机械泵打开。

    3. 真空气氛烧结炉扩散泵:机械泵打开。

    4. 真空气氛烧结炉加热电源:水压正常、高低温度正常(EV3灯不亮)。

    5. 充气阀1:气压表无报警、炉门处于锁紧位置、电接点压力表不处于上限位。

    6. 充气阀2:气压表无报警、炉门处于锁紧位置、电接点压力表不处于上限位。

    7. 主阀:电接点压力表低于下限位。

    8. 粗抽阀:电接点压力表低于下限位。

    9. 前级阀:无。

    10. 热偶拖动:低温低于1300度、高温低于1400度。

    11. 放气阀1:气压高于设定值时自动打开、电接点压力表上限时自动打开。

    12. 放气阀2:气压高于设定值时自动打开、电接点压力表上限时自动打开。

    13. 真空气氛烧结炉炉门松开:气压表低于50Kpa、电接点压力表低于下限。


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