VHP120/1900真空热压炉技术技术参数

 (一)VHP120/1900真空热压炉技术条件：

1 工作温度：室温—1900℃；

2 温度均匀性：±5℃（3点测温，1000℃恒温时）；

3 控温精度：±1℃；

4 可控温区：1个；

5 加热棒长度：400mm；

6 加热棒圆周直径：460mm；

7 极限真空度：≤5Pa（空炉、冷态）；

8 热态真空度：≤50Pa（空炉、1600℃）；

9 压升率：≤10Pa/h；

10 压机工作吨位： 120T；

11 压头直径：Φ180mm；

12 加压方式：上压头单向加压；

13 压头行程：150mm；

14 行程控制精度：≤1mm；

15 充气压力：0.11MPa(绝对压力)

16 充气气体：氮气或氩气

(二） VHP120/1900真空热压炉安装条件：

占地面积：4,000*5,000(mm)；

安装形式：炉体立式，压机立式（双梁四柱）；

电源：100kw，380V；

水源：压力≥0.3Mpa，流量≥5t/h；

(三） VHP120/1900真空热压炉成套范围及特性： 

1) 加热室：

² 用于真空或保护气氛，结构形式为圆柱形；

² 加热器分三区，每区四根，共十二根，材质为日本高纯石墨，在均温区外圆周分布；

² 隔热层，从里到外依次为石墨毡100mm，莫来石保温毡20mm，最外层为不锈钢外壳（304）；

² 为了便于进出料，加热室前部开门，水平出料；

² 发热体更换方便。整个加热区可以作为一个结构完备的部件被拆卸出来，便于维护和修理；

² 炉体：                 

² 立式安装，采用前部开门方式,双层水冷结构、内层为不锈钢（304），外层为碳钢，内部按高真空要求抛光，外部喷涂油漆；

² 炉体上设有真空接口、上、下压头装置（水冷，上压头波纹管密封，下压头静密封，上下压头水冷法兰）、电极引入装置（水冷，紫铜）、热偶、充气装置、放气装置；

² 炉门上设有电极引入装置；

² 炉体与炉门连接结构为法兰形式，手轮螺栓锁紧；

² 唇型密封圈更好的保证真空密封。

2) 真空系统：

² 为二级高真空机组（罗茨泵/旋片泵）；

² 配置为ZJP600罗茨泵/ 2X70旋片泵；

² 主要的工艺真空阀门均为气动或电动；

² 附件为冷阱、波纹管；

3) 充放气系统：

² 由电磁阀、微调阀及管路构成，可设定不同的充气压力范围，通过压力开关可自动充气和补气；

4) 气控系统：

² 由小空压机、气动三联件、电磁换向阀、管路构成。

² 用来驱动各系统的气动阀门；

5) 水冷系统：

² 根据真空炉各部分对冷却水的要求，制作水箱及积水排、由阀门、管路等组成（甲方提供压力≥0.3Mpa，流量≥5t/h的水源）；

² 对炉体、炉门、真空系统、水冷压头、水冷电极等进行冷却；

² 其中总进水管路安装水压传感器；

6) 压力机及液压系统：

² 压机型式采取双梁四柱式，输出压力为5T--120T；

² 具有较大的工作平台，用来放置真空炉体。为了保证上下压头的平行度，炉体上的水冷压头与油缸的连接方式为法兰连接；

² 真空-热压炉专用的液压系统，具有泄压与保压功能。用来驱动油缸；

² 压力控制阀门采用意大利阿托斯进口产品，自动整定次级压力，并能有效补偿由于热延展带来的压力波动，精度控制≤1MPa。具有泄压与保压功能。用来驱动压头；

² 上压头行程150mm；测距采用电子尺；

² 金属压头与石墨压头联接，石墨压头进入热区，石墨压头形状由于同热压工艺密切相关，故由使用方自备。

7) 电控系统：

² 具有手动及自动两种控制方式，采用并联方式，两种方式可自动装换；

² 手动方式采用按钮或旋钮操作；

² 自动控制采用可编程控制器PLC及触摸屏,根据工艺要求，自主开发组态二次软件对设备进行自动控制；

² 对各工艺参数（温度、真空度、压力，位移）实现动态显示、记录、存储。

l 温度控制：

² 仪表：选用日本岛电公司控温仪；           

² 控制方式：采用三相低电压大电流加热方式，室温-1600℃采用刚玉管B型热电偶控制（气动拖出），400℃-1900℃采用钼护管钨铼热电偶控制；

² 加热功率90KW；

² 测温元件：B型热电偶（一支），钨铼热电偶（一支）；

l 真空度控制：

² 仪表：复合数显真空计；

l 压力控制：

² 仪表：PLC控制；

² 传感器：油压传感器；

² 所有仪表及控制元件集中在一个特制电控柜内，主要电器元件均选用优质电器元件（如施耐德产品、欧姆龙、LG），及相应的电气安全连锁以确保设备的稳定及可靠性；

² 设置必要的报警及保护，例如超温、水压低、气压低等；