真空感应模具除气炉操作方法

一、准备

1. 当班人员佩带必要的个人保护用品，准备好必要的工具和原材料。

2. 送冷却水，并打开支路水阀，确认各管道冷却水畅通无阻，确认加热电源水阀打开，且水压大于0.2MPa.

3. 闭合操作盘上的总电源开关（ON位置），按下控制面板上的控制电源开按钮。

4. 闭合空压机按钮开关，压力大于0.6MPa.

5. 检查机械泵、罗茨泵、扩散泵，油量、油色及润滑是否良好。（如出现少油、变色等情况请及时更换。）

6. 检查入炉材料是否有污垢、或腐蚀性物质以及其它污染炉膛的物质。

7. 凡入炉物料均须进行充分的干燥及清洁处理。

二、装炉

1. 打开放气阀导入空气，确认真空表降为1.0E+5 为止。

2. 打开炉门，转动到限位台处。

3. 检查炉内感应圈有无放电、打火等痕迹。

4. 清理炉内残余杂物。

5. 小心装入准备好的工件，注意不要碰撞炉内感应圈。

6. 用万用表测量感应圈的绝缘阻值，应大于10K欧姆。

7. 用洁清的抹布蘸酒精，轻轻擦拭炉门密封圈及密封法兰。

8. 轻轻转动炉门，到位后关闭炉门。

9. 关闭放气阀。

三、抽真空

1. 打开粗抽阀、前级阀。

2. 打开机械泵，观测真空数值变化。

3. 当真空度小于1000Pa，时打开罗茨泵。同时打开扩散泵开始预热。

4. 扩散泵预热50分钟后，观测真空度小于10Pa时，关闭粗抽阀，延时5秒后，打开主阀，开始抽高真空。

四、加热

1. 当真空度到达工作真空度后，方可执行加热。

2. 根据工艺要求输入升温曲线。

3. 打开加热电源前确认以下内容，

l 加热电源水流是泵正常

l 手动模式下，检查功率调节旋钮是否处于零位。（左旋到底）

l 自动模式下，检查2704控温表输出是否为零。

4. 打开按下控制电源开按钮打开控制电源，延时5秒后，打开主电源。观察加热电源柜上仪表指示是否正常。

5. 启动2704温控表，加热开始工作。观察电流、电压、频率、功率等，判断加热是否工作正常。

6. 加热时操作人员实时观察炉内加热情况，避免出现意外造成损失。

六、结束

1. 到达设定时间后升温会自动结束，这时需先关闭加热主电源，延时3到5分钟关闭加热电源按钮。

2. 根据工艺要求关闭扩散泵按钮，停止扩散泵加热。

3. 扩散泵停止加热冷却时间大于1.5小时，如温度降至300以下时方可依次关闭主阀、罗茨泵、机械泵。

4. 根据温度降至材料允许开门时温度时，打开放气阀放气。

5. 打开炉门，取出工件。

6. 关闭炉门及放气阀。

7. 打开粗抽阀、机械泵，预抽真空。

8. 当真空抽至100Pa以下时，关闭粗抽阀、机械泵。

9. 工艺结束，关闭控制柜电源。