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    真空感应模具除气炉操作方法

    一、准备

    1. 当班人员佩带必要的个人保护用品,准备好必要的工具和原材料。

    2. 送冷却水,并打开支路水阀,确认各管道冷却水畅通无阻,确认加热电源水阀打开,且水压大于0.2MPa.

    3. 闭合操作盘上的总电源开关(ON位置),按下控制面板上的控制电源开按钮。

    4. 闭合空压机按钮开关,压力大于0.6MPa.

    5. 检查机械泵、罗茨泵、扩散泵,油量、油色及润滑是否良好。(如出现少油、变色等情况请及时更换。)

    6. 检查入炉材料是否有污垢、或腐蚀性物质以及其它污染炉膛的物质。

    7. 凡入炉物料均须进行充分的干燥及清洁处理。

    二、装炉

    1. 打开放气阀导入空气,确认真空表降为1.0E+5 为止。

    2. 打开炉门,转动到限位台处。

    3. 检查炉内感应圈有无放电、打火等痕迹。

    4. 清理炉内残余杂物。

    5. 小心装入准备好的工件,注意不要碰撞炉内感应圈。

    6. 用万用表测量感应圈的绝缘阻值,应大于10K欧姆。

    7. 用洁清的抹布蘸酒精,轻轻擦拭炉门密封圈及密封法兰。

    8. 轻轻转动炉门,到位后关闭炉门。

    9. 关闭放气阀。

    三、抽真空

    1. 打开粗抽阀、前级阀。

    2. 打开机械泵,观测真空数值变化。

    3. 当真空度小于1000Pa,时打开罗茨泵。同时打开扩散泵开始预热。

    4. 扩散泵预热50分钟后,观测真空度小于10Pa时,关闭粗抽阀,延时5秒后,打开主阀,开始抽高真空。

    四、加热

    1. 当真空度到达工作真空度后,方可执行加热。

    2. 根据工艺要求输入升温曲线。

    3. 打开加热电源前确认以下内容,

    l 加热电源水流是泵正常

    l 手动模式下,检查功率调节旋钮是否处于零位。(左旋到底)

    l 自动模式下,检查2704控温表输出是否为零。

    4. 打开按下控制电源开按钮打开控制电源,延时5秒后,打开主电源。观察加热电源柜上仪表指示是否正常。

    5. 启动2704温控表,加热开始工作。观察电流、电压、频率、功率等,判断加热是否工作正常。

    6. 加热时操作人员实时观察炉内加热情况,避免出现意外造成损失。

    六、结束

    1. 到达设定时间后升温会自动结束,这时需先关闭加热主电源,延时35分钟关闭加热电源按钮。

    2. 根据工艺要求关闭扩散泵按钮,停止扩散泵加热。

    3. 扩散泵停止加热冷却时间大于1.5小时,如温度降至300以下时方可依次关闭主阀、罗茨泵、机械泵。

    4. 根据温度降至材料允许开门时温度时,打开放气阀放气。

    5. 打开炉门,取出工件。

    6. 关闭炉门及放气阀。

    7. 打开粗抽阀、机械泵,预抽真空。

    8. 当真空抽至100Pa以下时,关闭粗抽阀、机械泵。

    9. 工艺结束,关闭控制柜电源。


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