ZRYS500-50型真空热压中频炉技术参数

一、真空热压中频炉技术参数：

1) 均温区尺寸：φ200* 150mm，φ80* 100mm，对应于大小感应圈各一套；

2) 中频感应电源：25KW

3) 额定温度：1400℃；

4) 升温速率：升至1000℃，时间小于5min；

5) 控温精度：±2℃

6) 极限真空度：≤1*10-3Pa；

7) 空炉达到极限时间：小于60min；

8) 压升率：≤0.5Pa/h；

9) 压机工作压力范围：3~50T；

10) 水冷压头直径：φ100mm，中心设螺孔，螺孔尺寸为φ15*40mm；

11) 过渡压头材料为Cr12，直径为φ50mm，与水冷压头通过螺孔连接；

12) 压头位移：上下压头各200mm位移量;

13) 加压方式：上、下双向加压，可实现单向压制和双向压制；

14) 可实现充气热压，炉体可承受的绝对气体压力最大为0.12Mpa。

二、真空热压中频炉技术分析：

真空热压中频炉立式结构，主要由炉体、炉盖.测温装置.压力机.感应加热器、真空系统、水冷装置、汇流母线、工作台、控制柜、中频电源等组成。

1、真空热压中频炉感应加热器：

a) 感应线圈是用异形紫铜管绕制而成，采用二组并联形式，异型管内通入冷却水可以降低感应线圈温度，为了保证能够快速升温，铜管的截面积较大。

b) 模具及炉料是通过感应线圈产生的交变磁场而产生的感应电流而发热.

2、真空热压中频炉炉体：

A、双层水冷结构、材质为内层不锈钢，外层碳钢，内部按高真空要求抛光；

B、立式结构，炉体为圆柱形，上、下部均为平底，炉体前部开门，与炉门为法兰连接，唇型圈密封（在前门上有窥视孔，直径φ100）；

C、真空口位于炉体后部，与真空机组真空法兰连接；

D、感应线圈引入装置位于炉体后部或侧面，结构尽量紧凑，以节省占地面积。炉内与炉外采用刚玉管绝缘；

E、炉体上设测温口，测温元件为热电偶； 

F、在炉体前门安装两个操作手套，为了保证高真空，手套通过真空隔离腔与大气隔离，隔离腔具有抽真空及充气功能，手套口直径φ170mm；

H、炉体侧部安装真空贮料腔，尺寸：直径φ200*300，贮料腔可通过挡板实现与主腔体间密封，可单独抽真空，贮料腔部分配有压力表可显示正、负压力；

I、炉体内部安装LED灯；

J、炉体上安装压力表，可在较小范围内显示正负压力；

K、炉体下部有一进、一出两个冷却水管通过炉体内部，以备功能扩充之用；

L、围绕下压头有水冷托盘。

3、真空热压中频炉真空系统：

A、主泵为KT-300凸腔扩散泵：

B、前级泵为2X-30旋片真空泵。 

C、附件由气动真空阀，波纹管、规管座等附件组成；

C1、充气系统：

由电磁阀、微调阀及管路构成，可设定不同的充气压力范围，通过压力开关可自动充气和补气。

C2、水冷系统：

根据真空炉各部分对冷却水的要求，制作积水排、由阀门、管路等组成；

C3、压力机及液压系统：

压机形式采取双梁两柱式，输出压力为3～50T.具有较大的工作平台，用来放置真空炉体。为了保证上下压头的平面度，炉体上的水冷压头与油缸的连接方式为法兰连接。真空-热压中频炉专用的液压系统，实现热压工艺。为了实现快速热压，选用较大截面的油缸。此液压系统具有两种热压功能，一种是快速热压成型，一种是上下压头同时匀速热压成型，可实现3mm/min的均匀变形速率；系统配有进口比例溢流阀，比例调速阀；上下压头配备手压泵，可实现手动压制操作。

4、真空热压中频炉电控系统：

①用可编程控制器PLC及触摸屏,根据工艺要求对设备进行自动控制（配备电脑可记录温度、压力和位移的变化）；

②数显控温表（日本导电），用来对升温过程进行智能控制及显示，使升温过程按照工艺要求分步分段进行。此表为主控温表；

③加热电源：中频IGBT感应电源；

④汇流母线:将电源柜与感应线圈连接，为感应加热器送电。

⑤复合数显真空计，低真空下为热偶计，高真空下为电离计；

⑥测温元件：热电偶(B分度号); NiCr-NiSi热电偶，热电偶长度足够长，可深入模具内部。该设备具有匹配单铂铑热电偶的功能。

⑦光栅仪及二次仪表用来显示压头位移，精度0.05mm；（上、下压头均配有光栅仪，可对上下压头的位移分别测量。）

⑧油压传感器、液压比例阀及二次仪表用来显示及控制压机压力，精度2%，压力控制可按照曲线执行，也可手动操作；

⑨所有仪表及控制元件集中在一个特制电控柜内；

⑩设置必要的报警及保护，例如超温、水压低、气压低等。

三、真空热压中频炉操作步骤：

1) 将材料装入真空炉均温区内，把炉门关紧，并且用       手轮锁紧炉门。

2) 打开控制柜内总电源，此时「总电源」灯亮。

3) 按下「控制电源开」按钮，此时「控制电源」灯亮，所有仪表都启动。

4) 打开循环水系统。

5) 先开[粗抽阀]，再开[旋片泵]进行抽低真空。

6) 当真空度小于15Pa时，打开[前级阀]及[扩散泵]进行预热。

7) 当扩散泵工作30m后，关闭[粗抽阀]，打开[主阀]抽高真空。当抽到预定真空后进行下步操作。

8) 此时开始加热（程序设定详见P93表使用说明），打开「加热电源」按钮，确认加热电源的三个指示灯亮。打开[加热]按钮，仪表上RUN灯闪烁，加热电源上的电流表、电压表都显示数值，此时已经开始加热。

9) 热压位移过程根据客户的工艺参数自己设定(位移表FP93操作详见仪表使用说明)。

10) 降温过程根据客户的工艺参数自己设定。